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9游会体育敏芯股份获得发明专利授权:“MEMS传感器及其微机电结构、微机电结构的制造方法”

发布时间:2024-05-04 22:51:02  浏览:

  9游会体育证券之星消息,根据企查查数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS传感器及其微机电结构、微机电结构的制造方法”9游会体育,专利申请号为CN3.X,授权日为2024年5月3日。

  专利摘要:本申请公开了一种MEMS传感器及其微机电结构、微机电结构的制造方法。该微机电结构包括:背板,具有至少一个通孔;感应膜,包括运动区、非运动区、连接运动区与非运动区的梁结构,运动区与背板构成可变电容;至少一个连接柱,每个连接柱的一端与感应膜的运动区固定连接;以及至少一个可动结构,分别位于相应的通孔中以与背板分离,每个可动结构与相应的连接柱的另一端固定连接,其中,可动结构在感应膜上的正投影与部分非运动区重合。该微机电结构通过可动结构对感应膜的形变程度进行限制,从而提高MEMS传感器的抗机械冲击能力。

  今年以来敏芯股份新获得专利授权29个,较去年同期减少了6.45%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7790.71万元,同比增11.7%。

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